FT-330/340/361/371/394C 四探針測試儀產品詳情
發布時間: 2026-06-28 10:46:48 點擊: 63
1. 產品介紹
ROOKO 瑞柯微 FT 系列四探針測試儀包含 FT-330、FT-340、FT-361、FT-371 臺式機型與 FT-394C 手持式機型,由寧波瑞柯析理儀器有限公司推出,依托四探針法、范德堡測量原理開發,為導體、半導體、導電薄膜材料電學性能表征設備。整機匹配 ASTM F84、GB/T1551、GB/T1552 等通用標準,區分低阻、高阻、手持便攜、單電測 / 雙電測多規格機型,覆蓋實驗室研發、產線來料質檢、現場快速抽檢多工況,可采集方塊電阻、體積電阻率、電導率多維度數據,支持 PC 軟件圖譜報表導出,適配固態、顆粒導電材料電學檢測。
2. 產品特點
- 雙測量原理架構:集成四探針直線測量、范德堡方形探針測量,適配薄片、塊狀、圓形樣品檢測
- 雙向恒流檢測:自動切換正、負電流輸出與電壓采集,抵消材料極化電勢干擾,數據穩定
- 中英文液晶交互界面,多參數同步顯示,支持溫度補償、自動量程切換、厚度系數補償
- 機型量程差異化配置:FT-361 適配低阻導電材料,FT-371 適配高阻半導體薄膜,FT-394C 手持便攜外出檢測
- 雙電測優化機型(FT-341/342)采用雙電組合測試,適度優化測量誤差,標準樣片誤差≤4%
- 探針組件可定制:探針間距 1/2/3mm 可選,材質分為碳化鎢針、鍍金磷銅半球針,適配不同硬度樣品
- 拓展配套完善:可搭配測試平臺、標準校準電阻、溫度傳感器、PC 分析軟件,拓展數據歸檔功能
- 臺式機型功耗<30W,220V 市電供電;手持機型內置充電電池,無外接電源也可完成現場檢測
- 電阻測量誤差可控,臺式機型標準電阻精度≤0.3%,滿足行業材料檢測規范
- 適配多形態導電材料,兼顧實驗室檢測與產線批量篩查,多場景適配
3. 工作原理
設備采用直流四探針法與范德堡四電極法兩類測量架構,規避兩點測試引線電阻、接觸電阻帶來的數據偏差:
- 直線四探針測試:外側兩根探針輸出恒定微小電流,內側兩根探針采集樣品表面電壓,結合探針間距、樣品厚度自動運算方塊電阻、體積電阻率、電導率;
- 范德堡方形探針測試:四根電極均勻分布樣品四周,適用于方形、圓形薄片樣品,降低樣品形狀對測量結果的干擾;
- 儀器自動切換正反向恒流采集數據,抵消材料極化影響,內置溫度補償模塊,可接入溫度傳感器修正溫漂誤差;臺式機型可連接 PC 軟件同步存儲壓力、厚度、電阻、溫度數據,生成數據曲線與標準化報表。
4. 技術參數
| 測試項目 | FT-331 | FT-341 | FT-332 | FT-342 | FT-361B 低阻 | FT-371A 高阻 | FT-394C 手持式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 方塊電阻范圍 | 10??~2×10?Ω/□ | 10??~2×10?Ω/□ | 10??~2×10?Ω/□ | 10??~2×10?Ω/□ | 10??~2×10?Ω/□ | 10??~10?Ω/□ | 10?3~2×10?Ω/□ |
| 電阻率范圍 | 10??~2×10?Ω·cm | 10??~2×10?Ω·cm | 10??~2×10?Ω·cm | 10??~2×10?Ω·cm | 10??~2×10?Ω·cm | 10??~10?Ω·cm | 10?3~2×10?Ω·cm |
| 測試電流檔位 | 0.1μA~100mA | 0.1μA~100mA | 10μA~100mA | 10μA~100mA | 0.1μA~1A | 200pA~10mA | 10μA~10mA |
| 電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | - |
| 測試方式 | 單電測 | 雙電組合 | 單電測 | 雙電組合 | 四探針 | 四探針范德堡 | 四探針 |
| 整機誤差 | ≤4% 標準樣片 | ≤4% 標準樣片 | ≤4% 標準樣片 | ≤4% 標準樣片 | - | - | - |
| 顯示內容 | 電阻、電阻率、方阻、溫度、厚度、電導率等完整參數 | 電阻、電阻率、方阻、溫度、厚度、電導率等完整參數 | 電阻、電阻率、方阻、溫度、厚度、電導率等完整參數 | 電阻、電阻率、方阻、溫度、厚度、電導率等完整參數 | 完整多參數顯示 | 完整多參數顯示 | 僅方阻、電流 |
| 供電規格 | AC220V±10%,<30W | AC220V±10%,<30W | AC220V±10%,<30W | AC220V±10%,<30W | AC220V±10%,<30W | AC220V±10%,<30W | 5V 充電電池 |
| 可選探針間距 | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm |
| 可選探針材質 | 碳化鎢針、鍍金磷銅針 | 碳化鎢針、鍍金磷銅針 | 碳化鎢針、鍍金磷銅針 | 碳化鎢針、鍍金磷銅針 | 碳化鎢針、鍍金磷銅針 | 碳化鎢針、鍍金磷銅針 | 碳化鎢針、鍍金磷銅針 |
5. 適用范圍
- 行業適配:半導體晶圓制造、光伏電池、光學 ITO 導電膜、新能源石墨 / 炭紙、導電橡膠、PCB 銅箔、導電涂料、高校材料實驗室、合作機構檢測實驗室;
- 檢測材料:硅單晶 / 鍺單晶片、ITO/AZO 導電玻璃、金屬鍍層、石墨烯薄膜、導電塑料、導電纖維、石墨板材、導電涂層、抗靜電材料;
- 檢測指標:方塊電阻、材料體積電阻率、電導率、薄層導電均勻度、溫度系數;
- 適配標準:ASTM F84、GB/T1551、GB/T1552、GB/T26074、GB/T14141、GB/T37152 半導體電學檢測通用標準。
6. 操作流程(簡潔)
- 臺式機接通 220V 電源,手持機型完成充電;安裝匹配間距、材質的四探針探頭;
- 將待測樣品平穩放置于測試平臺,錄入樣品厚度、溫度補償參數;
- 儀器選擇對應電流檔位,啟動自動正反電流測量;
- 液晶面板讀取方阻、電阻率數據,臺式機型可連接 PC 軟件自動存儲、生成測試報表;
- 單次測試完成后抬起探針,更換樣品重復檢測;檢測結束斷電,清潔探針接觸面。
7. 配套服務項目(簡潔版)
- 售后服務:原廠基礎質保,線上遠程調試,故障安排到場檢修;
- 延保服務:可選購 1-3 年期延保,延長整機保修周期;
- 樣品測試:合作機構實驗室承接來料檢測,同步出具計量證書;
- 技術升級:儀器軟件迭代、量程拓展、功能模塊升級服務;
- 儀器租賃:適配短期項目、臨時抽檢需求的租賃方案;
- 儀器定制:探針規格、測試模塊、電極尺寸定制化設計。
8. 包裝配件(標準外選購件)
| 序號 | 配件型號 | 配件名稱 | 單位 | 配置說明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 340-CSX | 測試線 | 套 | 1 套 / 臺 |
| 2 | 09A | 標準校準電阻 | 個 | 選購,數量 1-5,規格按需匹配 |
| 3 | 06A | 四探針測試平臺 | 套 | 1 套,內含直線型探頭 1 支 |
| 4 | 06B | 四探針探頭 | 個 | 直線 / 方形探頭按需增補 |
| 5 | 340-TTZ | 鍍金彈簧銅針組件 | 組 | 4 根 / 組,損耗替換配件 |
| 6 | 340-WTZ | 彈簧鎢針組件 | 組 | 4 根 / 組,耐磨探針選配 |
| 7 | 340-RJ | PC 分析軟件 | 套 | 1 套,支持數據導出、圖譜生成 |
| 8 | PC | 電腦 + 打印設備 | 套 | 按需搭配,用于數據歸檔打印 |
| 9 | 300-JL | 計量檢測證書 | 份 | 1 份,合作機構校準認證文件 |
| 10 | WDCGQ | 溫度傳感器 | 套 | 測溫區間常溫 - 125℃,按需選購 |
| 11 | 341-YB | 設備延保服務 | 年 | 選購周期 1-3 年 |
9. 售后服務(簡潔)
- 原廠質保周期內,非人為損壞零部件更換;
- 提供長期線上遠程操作指導、故障排查;
- 損耗類探針、電極配件可單獨采購補給;
- 配套 PC 軟件持續迭代更新,無額外功能費用;
- 可預約定期設備校準、計量復檢服務。
10. FAQ 常見問答
Q1:低阻、高阻機型如何選型?
A:金屬、石墨、導電炭紙、厚金屬鍍層等低導電材料合適之選為 FT-361B;半導體薄膜、高阻導電涂層選用 FT-371A;常規硅片、ITO 薄膜可選用 FT-330/340 系列;現場戶外抽檢選用 FT-394C 手持機型。
Q2:單電測與雙電測機型有什么區別?
A:FT-331/332 為單電測,基礎檢測工況適配;FT-341/342 雙電組合測試,適度優化測量誤差,對數據一致性要求較高的產線質檢可選用。
Q3:探針能否更換不同間距、材質?
A:支持,1mm/2mm/3mm 三種間距可選;碳化鎢針硬度高適配硬質樣品,鍍金磷銅針接觸穩定適配薄膜類軟質樣品。
Q4:儀器是否支持溫度補償?
A:臺式機型均可搭配溫度傳感器配件,采集樣品實時溫度,自動換算標準溫度下電阻率數值,降低溫漂干擾。
Q5:手持款可以連接電腦導出數據嗎?
A:FT-394C 手持式基礎機型僅本地顯示數據,如需 PC 數據存儲可搭配臺式系列機型或選配拓展通訊模塊。
11. 關聯產品(簡潔)
- FT-351 高溫四探針測試儀(高溫環境導電材料檢測)
- FT-341SJB/FT-361SJB 雙極板電阻測試儀(燃料電池炭紙、雙極板界面電阻檢測)
- FT-8600 粉末電阻率壓實密度一體機(導電粉體、石墨粉料電學測試)
- FT-3110 全自動掃描四探針測試儀(晶圓多點面分布檢測)
- FT-303 系列表面體積電阻率測試儀(絕緣材料高阻檢測)
上一頁:薄膜材料方阻測試儀FT-331
