瑞柯微 FT-351A/B/C 高溫四探針儀 200-1200℃氣氛保護電阻率分析儀
發(fā)布時間： 2026-07-12 10:58:51 點擊： 145
1. 產(chǎn)品介紹
FT-351 系列高溫四探針電阻率測試儀面向半導(dǎo)體、高溫導(dǎo)電新材料研發(fā)檢測打造，整合可控高溫加熱腔體與標(biāo)準(zhǔn)四探針測量夾具，可搭配氣氛保護工況開展試驗。設(shè)備區(qū)分 FT-351A/FT-351B/FT-351C 三款型號，適配不同阻值區(qū)間材料；整機自主完成正負(fù)電流、電壓循環(huán)采集，規(guī)避極化帶來的數(shù)據(jù)偏移，配套 PC 控制與分析程序，實時記錄升溫全過程方阻、電阻率、溫度數(shù)值，自動生成溫度 - 電阻關(guān)聯(lián)圖譜。加熱腔體采用真空成型復(fù)合陶瓷纖維，高溫工況不易掉粉，標(biāo)配鎢 / 鉬探針，可增購鉑銠高溫探針，適配企業(yè)質(zhì)檢車間、高校材料實驗室、新材料科研院所開展高溫導(dǎo)電性能研究。
2. 產(chǎn)品特點
- 分型號覆蓋多阻值區(qū)間，F(xiàn)T-351A 低阻、FT-351B 寬量程、FT-351C 高阻，按需選型適配不同半導(dǎo)體物料
- 多檔溫控區(qū)間可選，常溫至 120℃梯度可控，沖溫值控制在 1-3℃區(qū)間，控溫誤差 ±1℃
- 復(fù)合陶瓷纖維高溫腔體，真空成型工藝，高溫運轉(zhuǎn)不易脫落粉塵，維持腔體潔凈度
- 可搭配氣氛保護結(jié)構(gòu)，滿足惰性氣氛下高溫導(dǎo)電試驗工況
- 自主切換正向、反向電流電壓，弱化材料極化干擾，數(shù)據(jù)穩(wěn)定
- PC 一體化管控，同步記錄溫度、方阻、電阻率、厚度、探針間距多類參數(shù)，自動生成曲線與報表
- 直線型標(biāo)準(zhǔn) 4mm 探針，標(biāo)配鎢 / 鉬材質(zhì)，可增購鉑銠高溫探針適配更高溫工況
- 升溫節(jié)奏標(biāo)準(zhǔn)化，400-800℃區(qū)間 15 分鐘，800-1200℃區(qū)間 30 分鐘，溫控過程可控
- 多規(guī)格高溫陶瓷樣品臺、剛玉坩堝可搭配，適配固態(tài)、液態(tài)、顆粒試樣
- 配套高溫防護工具，升降裝置可選，簡化高溫試樣取放操作
3. 工作原理
將半導(dǎo)體、高溫導(dǎo)電試樣放置陶瓷樣品臺，裝入高溫腔體并按需通入保護氣氛；四探針模組接觸試樣表層，設(shè)備輸出設(shè)定檔位恒定電流，采集兩端電壓信號，依托四探針法換算方塊電阻、體積電阻率與電導(dǎo)率。加熱系統(tǒng)按照設(shè)定速率梯度升溫，PC 軟件同步記錄每一溫度節(jié)點電性能參數(shù)，匯總后生成溫度 - 電阻變化曲線；通過曲線可分析材料在升溫過程導(dǎo)電性能波動，為配方、燒結(jié)工藝調(diào)整提供數(shù)據(jù)支撐。
4. 技術(shù)參數(shù)（表格）
表格
| 測試參數(shù) | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
|---|---|---|---|
| 方塊電阻區(qū)間 | 10??～2×10?Ω/□ | 10??～2×10?Ω/□ | 10??～10?Ω/□ |
| 電阻率區(qū)間 | 10??～2×10?Ω·cm | 10??～2×10?Ω·cm | 10??～10?Ω·cm |
| 測試電流檔位 | 0.1μA~100mA | 0.1μA~1A | 200pA~10mA |
| PC 顯示參數(shù) | 方阻、電阻率、電導(dǎo)率、溫度、厚度、探針間距、電流電壓、溫度系數(shù) | 方阻、電阻率、電導(dǎo)率、溫度、厚度、探針間距、電流電壓、溫度系數(shù) | 方阻、電阻率、電導(dǎo)率、溫度、厚度、探針間距、電流電壓、溫度系數(shù) |
| 可選溫控范圍 | 常溫～200/400/600/800/1000/1200℃ | 常溫～200/400/600/800/1000/1200℃ | 常溫～200/400/600/800/1000/1200℃ |
| 控溫指標(biāo) | 沖溫≤1-3℃，控溫精度 ±1℃ | 沖溫≤1-3℃，控溫精度 ±1℃ | 沖溫≤1-3℃，控溫精度 ±1℃ |
| 升溫速率 | 400-800℃約 15min；800-1200℃約 30min | 400-800℃約 15min；800-1200℃約 30min | 400-800℃約 15min；800-1200℃約 30min |
| 腔體材質(zhì) | 真空成型復(fù)合陶瓷纖維 | 真空成型復(fù)合陶瓷纖維 | 真空成型復(fù)合陶瓷纖維 |
| 標(biāo)配探針 | 鎢 / 鉬探針，直線 4mm 間距 | 鎢 / 鉬探針，直線 4mm 間距 | 鎢 / 鉬探針，直線 4mm 間距 |
| 試樣尺寸要求 | 長≥13mm，寬 / 直徑≥13mm | 長≥13mm，寬 / 直徑≥13mm | 長≥13mm，寬 / 直徑≥13mm |
| 供電功率 | 220V，功率 2-4KW | 220V，功率 2-4KW | 220V，功率 2-4KW |
5. 適用范圍
- 檢測物料：半導(dǎo)體晶片、高溫導(dǎo)電陶瓷、石墨基復(fù)合材料、導(dǎo)電粉體、金屬基高溫導(dǎo)電板材、液態(tài)導(dǎo)電介質(zhì)
- 使用機構(gòu)：新能源材料企業(yè)研發(fā)實驗室、高校材料化工院系、半導(dǎo)體科研院所、第三方高溫材料檢測機構(gòu)
- 檢測用途：高溫工況導(dǎo)電性能研究、燒結(jié)工藝參數(shù)調(diào)整、不同配方半導(dǎo)體對比、氣氛環(huán)境阻抗模擬、合規(guī)檢測數(shù)據(jù)采集
6. 操作流程（簡潔）
- 設(shè)備、電腦接通電源，檢查加熱腔體、探針、溫控模塊狀態(tài)
- 將試樣放置適配陶瓷樣品臺，閉合腔體，按需接入保護氣氛管路
- PC 端設(shè)置升溫區(qū)間、升溫速率、測試電流、循環(huán)采集參數(shù)
- 啟動升溫程序，設(shè)備自動升溫并交替正負(fù)電流采集電性能數(shù)據(jù)
- 全程自動存儲溫度、方阻、電阻率數(shù)據(jù)，生成關(guān)聯(lián)變化圖譜
- 試驗完成降溫至設(shè)定溫度，取出試樣，清理腔體與探針
7. 綜合服務(wù)項目（簡潔）
- 樣品測試服務(wù)：寄送導(dǎo)電試樣，技術(shù)團隊完成多溫區(qū)四探針檢測并輸出完整數(shù)據(jù)記錄
- 延保服務(wù)：原廠基礎(chǔ)質(zhì)保周期外，可選購 1-3 年延保周期，降低后期運維損耗
- 合作機構(gòu)計量服務(wù)：對接合規(guī)合作機構(gòu)完成整機計量校準(zhǔn)，配套計量證書
- 技術(shù)升級服務(wù)：溫控模塊、軟件程序、探針組件可申請工藝改良升級
- 儀器租賃服務(wù)：短期高溫材料研發(fā)項目，提供階段性儀器租賃方案
8. 標(biāo)準(zhǔn)包裝與可選配件
標(biāo)配配件
- FT-351 對應(yīng)機型主機 1 臺
- 標(biāo)準(zhǔn)四探針測試線束 1 套
- 鎢 / 鉬探針組件 1 組
- 常溫陶瓷樣品臺
- PC 分析軟件安裝包
- 設(shè)備操作手冊、配套檢測標(biāo)準(zhǔn)文檔
可選增購配件
- S 型 / B 型鉑銠高溫探針套件
- 高低溫陶瓷樣品臺、剛玉坩堝
- 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻（多規(guī)格）
- 高溫升降裝置、高溫坩堝鉗、高溫防護手套
- 配套電腦、打印設(shè)備
- 計量檢測服務(wù)、1 至 3 年延保服務(wù)
9. 售后服務(wù)（簡潔）
- 出廠配套基礎(chǔ)質(zhì)保周期，質(zhì)保期內(nèi)非人為損壞零部件提供更換支持
- 線上遠(yuǎn)程協(xié)助溫控設(shè)置、軟件操作、基礎(chǔ)故障排查
- 設(shè)備故障可預(yù)約到場服務(wù)，技術(shù)人員現(xiàn)場檢修調(diào)試
- 長期供給探針、陶瓷臺、線束等損耗配件，支持批量儲備采購
- 定期推送高溫腔體、探針保養(yǎng)操作規(guī)范，延長儀器運轉(zhuǎn)周期
10. FAQ 常見問答
Q：三款 FT-35 機型如何區(qū)分選型？
A：FT-351A 適配低阻導(dǎo)電板材；FT-351B 量程覆蓋區(qū)間更廣，市面主流半導(dǎo)體材料適配；FT-351C 針對高阻半導(dǎo)體、絕緣摻雜導(dǎo)電材料。
Q：測試溫度能否超過 1200℃？
A：標(biāo)配溫控上限 1200℃，如需 1300/1700℃工況，可增購鉑銠探針與配套高溫樣品臺。
Q：測試試樣形態(tài)有什么限制？
A：固態(tài)、顆粒、液態(tài)試樣均可，搭配對應(yīng)陶瓷樣品臺、剛坩堝即可完成檢測。
Q：無電腦設(shè)備能否單獨測試？
A：整機升溫與數(shù)據(jù)采集依賴 PC 程序，無電腦無法開展完整梯度高溫試驗。
Q：氣氛保護結(jié)構(gòu)是否標(biāo)配？
A：氣氛保護為選配結(jié)構(gòu)，惰性氣氛高溫試驗可溝通加裝配套管路組件。
Q：探針損耗后能否單獨采購替換？
A：鎢鉬、鉑銠探針均為損耗配件，可單獨增購對應(yīng)規(guī)格套件。
11. 關(guān)聯(lián)產(chǎn)品（簡潔）
- FT-371 室溫四探針電阻率測試儀（常溫薄膜方阻檢測）
- FT-304/306 高阻絕緣材料電阻率儀
- FT-320TXW 碳纖維高溫電阻率測試設(shè)備
- FT-310 炭素材料電阻檢測儀
- FT-8600 粉末壓實電阻率一體機
