FT-3110 全自動四探針測試儀 12 寸晶圓電阻率面掃描 2D3D 方阻分布檢測設備
發布時間： 2026-06-28 11:07:30 點擊： 189
1. 產品介紹
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 系列全自動四探針測試儀由寧波瑞柯析理儀器有限公司推出，為半導體、光伏行業適配的全自動化電性能檢測設備，基于直線四探針測試原理開發，搭載 XY 電動移動載臺與 PC 智能分析系統，無需人工移動探針即可完成全域自動選點測試。整機符合 ASTM F84 半導體測試標準，自動切換正負電流消除極化干擾，可同步采集方塊電阻、電阻率、電導率數據，自動生成 2D/3D 電阻分布云圖與統計報表，區分 FT-3110A 通用款、FT-3110B 寬量程可擴展款，適配 2-12 寸晶圓、光伏電池片、導電薄膜批量檢測，覆蓋半導體制造產線全檢、光伏工藝管控、新材料研發實驗室等場景，測試效率與數據一致性優于手動四探針設備。
2. 產品特點
- 全自動化測試架構：XY 電動載臺自動走位，無需人工調整樣品位置，支持單點、五點、九點、直徑掃描、全域面掃描多模式自動運行
- 可視化數據輸出：PC 軟件實時生成 2D 等值線圖、3D 立體分布云圖，直觀呈現整片樣品電阻均勻性，支持大、小值、平均值、變異系數自動統計
- 雙向恒流檢測：自動切換正、負電流輸出與電壓采集，抵消材料極化電勢干擾，單點測試重復性≤0.5%，數據穩定
- 探針壓力可調：探針壓力 100-500g 區間軟件可調，適配不同硬度、厚度樣品，降低探針壓痕損傷風險
- 雙型號量程覆蓋：FT-3110A 適配常規半導體、光伏樣品；FT-3110B 搭載寬電流模塊，覆蓋更低阻樣品檢測，支持功能擴展
- 載臺規格可定制：標配可適配 2-12 寸圓形晶圓載臺，也可定制 153mm×153mm 以內方形載臺，適配方片樣品檢測
- 多參數同步采集：同步顯示電阻、電阻率、電導率、方阻、溫濕度、探針間距、樣品厚度參數，支持單位自動換算
- 多重防護：配備行程限位、探針壓力保護、誤操作急停按鈕、異常狀態聲光警報，降低設備與樣品損壞風險
- 標準校準體系：配套標準校準電阻件，支持電阻校準、坐標中心校準，保障測試數據溯源性
- 標準化報表輸出：自動生成批量測試報表，支持數據導出、打印，適配產線質量管控、實驗室數據歸檔需求
3. 工作原理
設備基于直流四探針測試法結合電動載臺自動定位技術，實現整片樣品電阻分布自動化檢測：
- 四根鎢鋼探針以固定間距垂直接觸樣品表面，外側兩根探針輸出恒定測試電流，內側兩根探針采集對應電壓差，結合探針間距、樣品厚度自動運算方塊電阻、體積電阻率與電導率；
- 測試過程中 XY 電動載臺按預設點位自動移動，探針按順序完成各點位測試，無需人工干預；
- 系統自動切換正反向電流測試，抵消材料極化電勢與接觸電勢帶來的數值偏移，提升數據準確性；
- 點位測試完成后，軟件自動整合全域數據，通過插值算法生成 2D 等值線分布圖、3D 立體電阻云圖，同步計算整片樣品電阻大、小值、平均值、標準偏差、變異系數，直觀反映樣品導電均勻性；
- 可根據工藝需求選擇直徑掃描模式檢測徑向電阻差異，或面掃描模式完成整片樣品電阻分布測繪，為半導體擴散、光伏鍍膜工藝調整提供量化數據支撐。
4. 技術參數
| 測試項目 | FT-3110A | FT-3110B（可擴展） |
|---|---|---|
| 方塊電阻測量范圍 | 10??～2×10?Ω/□ | 10??～2×10?Ω/□ |
| 電阻率測量范圍 | 10??～2×10?Ω·cm | 10??～2×10?Ω·cm |
| 測試電流檔位 | 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/100mA | 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/100mA/1A |
| 電阻測量精度 | ≤0.3%（標準電阻） | ≤0.3%（標準電阻） |
| 單點測試重復性 | ≤0.5% | ≤0.5% |
| 探針壓力調節范圍 | 100-500g 軟件可調 | 100-500g 軟件可調 |
| 探針配置 | 鎢鋼材質，探針間距 1mm，機械游移率≤0.3%，其他規格可定制 | 鎢鋼材質，探針間距 1mm，機械游移率≤0.3%，其他規格可定制 |
| 載臺規格 | 圓形載臺適配 2-12 寸晶圓；方形載臺支持 153mm×153mm 以內定制 | 圓形載臺適配 2-12 寸晶圓；方形載臺支持 153mm×153mm 以內定制 |
| 測試模式 | 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、全域面掃描自動測試 | 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、全域面掃描自動測試 |
| 軟件功能 | 多參數顯示、2D/3D 圖譜生成、數據統計、報表導出打印、溫濕度顯示 | 多參數顯示、2D/3D 圖譜生成、數據統計、報表導出打印、溫濕度顯示、功能擴展 |
| 防護 | 行程限位、壓力保護、急停按鈕、異常警報 | 行程限位、壓力保護、急停按鈕、異常警報 |
| 整機供電 | AC220V±10%，50Hz，功耗＜600W | AC220V±10%，50Hz，功耗＜600W |
5. 適用范圍
- 適配材料：半導體硅 / 鍺晶圓、非晶硅 / 微晶硅襯底、太陽能電池片、選擇發射極擴散片、表面鈍化片、PN 結擴散片、ITO 導電薄膜、金屬鍍層、鐵電材料、納米導電材料、觸控屏導電層；
- 應用場景：半導體晶圓制造產線全檢、光伏電池擴散 / 鍍膜工藝管控、顯示面板導電層均勻性檢測、新材料實驗室電性能表征、第三方檢測機構批量測試；
- 檢測指標：方塊電阻、體積電阻率、電導率、整片樣品電阻均勻性、徑向電阻分布差異、批次電阻穩定性；
- 適配標準：ASTM F84、GB/T 1551、GB/T 1552、GB/T 26074 半導體與導電薄膜測試通用標準。
6. 操作流程（簡潔版）
- 設備接通 220V 電源，連接通訊線至電腦，安裝配套 PC 分析軟件，完成端口匹配與通訊連接；
- 安裝對應尺寸晶圓載臺，使用標準電阻完成電阻校準，運行坐標校零完成載臺定位校準；
- 使用晶圓吸筆將待測樣品平穩放置于載臺中心，關閉遮光蓋；
- 軟件設置樣品尺寸、測試模式、測試點位、探針壓力、電流檔位參數；
- 啟動自動測試程序，載臺自動走位完成點位測試，實時顯示測試數據與圖譜；
- 測試完成后，軟件自動生成統計報表與分布云圖，支持數據導出、打印；
- 打開遮光蓋，取出樣品，清潔探針與載臺，關閉軟件與設備電源。
7. 配套服務項目（簡潔版）
- 售后服務：整機基礎質保，線上遠程操作指導、軟件調試，設備故障安排到場檢修；
- 延保服務：可選購 1-3 年期延保，延長整機保修周期；
- 樣品測試：合作實驗室承接晶圓、薄膜樣品批量測試業務，同步出具計量證書；
- 技術升級：軟件功能迭代、載臺規格擴展、量程模塊升級服務；
- 儀器租賃：適配短期項目、臨時批量檢測需求的設備租賃方案；
- 儀器定制：載臺尺寸、探針規格、測試功能按實際工況定制。
8. 包裝配件（標準配置外選購件）
| 序號 | 配件型號 | 配件名稱 | 單位 | 配置說明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 3310-CSX | 測試通訊線 | 套 | 標配 1 套 |
| 2 | 09A | 標準校準電阻 | 個 | 選購 1-5 個，規格按需匹配 |
| 3 | 3310-YPT-2 | 晶圓樣品載臺 | 套 | 2/4/6/8/12 寸圓形載臺，或方形載臺按需選購 |
| 4 | 3310-06B | 四探針測試探頭 | 個 | 直線型鎢鋼探頭，可增購備用 |
| 5 | 340-TTZ | 鍍金彈簧銅針組件 | 組 | 4 根 / 組，軟質樣品適配探針 |
| 6 | 340-WTZ | 彈簧鎢針組件 | 組 | 4 根 / 組，硬質樣品耐磨探針 |
| 7 | 3310-RJ | PC 數據分析軟件 | 套 | 標配 1 套，含 2D/3D 圖譜、報表功能 |
| 8 | PC | 電腦 + 打印設備 | 套 | 按需搭配，滿足 win10 及以上系統配置要求 |
| 9 | 3310-JL | 計量檢測證書 | 份 | 選購，合作機構出具的校準認證文件 |
| 10 | 3110-XB | 晶圓吸筆 | 支 | 標配 1 支，用于取放晶圓樣品 |
| 11 | 3110-YB | 設備延保服務 | 年 | 選購 1-3 年延保周期 |
9. 售后服務（簡潔）
- 整機基礎質保周期內，非人為損壞零部件提供更換服務；
- 提供長期線上遠程操作培訓、故障排查、軟件調試支持；
- 探針、載臺等損耗配件可單獨采購補給；
- 配套 PC 軟件持續迭代更新，優化測試功能與數據處理能力；
- 可預約到場設備校準、維護與功能升級服務。
10. FAQ 常見問答
Q1：FT-3110A 和 FT-3110B 有什么區別，怎么選型？
A：常規半導體晶圓、光伏電池片檢測可選擇 FT-3110A；需要測試極低阻金屬鍍層、大電流測試場景，或后續需要擴展功能，合適之選為 FT-3110B。
Q2：設備可以測試多大尺寸的樣品？
A：圓形晶圓適配 12 寸（300mm），方形樣品可定制 153mm×153mm 以內載臺，特殊尺寸可溝通定制。
Q3：面掃描模式可以自己設置測試點數嗎？
A：支持，軟件內可自定義測試點位密度、掃描路徑，滿足不同均勻性檢測精度需求。
Q4：探針磨損后可以單獨更換嗎？
A：可以，鎢鋼探針、鍍金銅針均為組件式設計，磨損后可單獨購買針組更換，無需更換整個探頭。
Q5：測試生成的 3D 圖譜可以導出圖片格式嗎？
A：配套軟件支持 2D/3D 圖譜導出為圖片格式，原始測試數據可導出為 Excel 格式，適配報告編寫與數據歸檔。
Q6：設備日常校準可以自主完成嗎？
A：日常電阻校準、坐標校零可按說明書步驟自主完成；年度計量校準可預約工作人員到場完成。
11. 關聯產品（簡潔）
- FT-330/340/361/371 手動四探針測試儀（小樣品手動點測場景）
- FT-351 高溫四探針測試儀（高溫環境下材料電阻率檢測）
- FT-394C 手持式四探針測試儀（現場快速抽檢場景）
- FT-551 系列自動極片電阻測試儀（鋰電池正負極片整體電阻檢測）
- FT-8600 粉末電阻率壓實密度一體機（導電粉體、石墨材料電性能檢測）
