FT-3120B 半導體四探針測試儀 納米薄膜 LCD OLED 電阻測試儀器
發(fā)布時間： 2026-06-28 19:20:49 點擊： 105
1. 產品介紹
FT-3120B 半自動四探針測試儀為 ROOKO 瑞柯微自研半導體、光伏、薄膜材料用檢測設備，由寧波瑞柯析理儀器經銷供應。設備采用行業(yè)通用四點探針測試法，對標 ASTM 通用標準，搭載步進控制系統驅動探針接觸樣品，減少人工操作帶來的數據波動。
設備支持單點單次、多點面掃描兩類分析模式，自動切換正負電流、正負電壓消除熱電勢誤差；搭配配套 PC 分析軟件，可采集存儲電阻、方塊電阻、電阻率、電導率、厚度、壓強全部過程數據，自動計算極值、均值、方差、變異系數并生成標準化報表。適配 2~12 寸晶圓、方形硅片、透明導電膜、半導體襯底等多類薄片試樣，用于新材料實驗室、光伏制造、電子顯示行業(yè)質量管控。
2. 產品特點
- 步進自動探頭升降系統，替代人工下壓，減少人為接觸偏差，測量均衡
- 自動雙向電流電壓輸出采集，弱化熱電勢對薄層低阻數據的干擾
- 雙材質探針可選：圓頭銅鍍金、鎢鋼探針，探針間距 1/2/3mm 可更換、非標可定制
- 探針壓力區(qū)間 100-550g 可調，適配薄脆晶圓與硬質導電薄膜不同接觸需求
- 針間絕緣電阻≥1000MΩ，機械游移率≤0.3%，接觸穩(wěn)定性良好
- 限位與壓力雙重防護結構，規(guī)避探針下壓過度劃傷試樣
- PC 軟件多維度數據統計，支持多點面電阻測繪，完整留存試樣導電均勻性數據
- 可更換多規(guī)格樣品臺，覆蓋 2 寸至 12 寸晶圓、156mm 方形硅片
- 標配標準校準電阻，設備自檢校準流程簡便，誤差可控
3. 工作原理
儀器采用四線制四探針標準測試原理：
- 試樣平整放置對應規(guī)格樣品臺，設定探針壓力、測試點位、電流檔位；
- 步進模組驅動四根探針同步下壓貼合樣品表層，外側兩根探針通入恒定直流電流，內側兩根探針采集薄層電壓差值；
- 設備自動切換正、反向兩組電流電壓，抵消材料熱電勢產生的數據偏移；
- 內置算法結合探針間距、樣品厚度自動換算方塊電阻、電阻率、電導率；
- 多點位掃描模式下依次采集不同區(qū)域數值，PC 端匯總全部數據生成均勻性曲線與檢測報表。
4. 技術參數
| 參數項目 | FT-3120B 規(guī)格參數 |
|---|---|
| 電阻測量區(qū)間 | 10??～2×10?Ω |
| 方塊電阻范圍 | 10??～2×10?Ω/□ |
| 電阻率測量區(qū)間 | 10??～2×10?Ω·cm |
| 測試電流檔位 | 0.1μA、1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA |
| 電流精度 | ±0.1% |
| 電阻精度 | ≤0.3% |
| 測量重復性 | ≤3% |
| 探針壓力可調區(qū)間 | 100g~550g |
| 探針性能 | 針間絕緣≥1000MΩ；機械游移率≤0.3% |
| 可選探針規(guī)格 | 鍍金銅針、鎢鋼針；間距 1/2/3mm，非標可定制 |
| 適配樣品尺寸 | 晶圓 2~12 寸；方片 125/156mm |
| 分析模式 | 自動單點、手動單點、多點面掃描 |
| 防護配置 | 限位保護、壓力過載保護 |
| PC 軟件顯示維度 | 電阻、方阻、電阻率、電導率、厚度、溫度、電流、電壓、探針間距、均值、方差、變異系數 |
| 供電規(guī)格 | AC220V±10%，50Hz，整機功耗＜100W |
| 適用工況 | 常規(guī)實驗室恒溫環(huán)境 |
| 標配校準件 | 標準校準電阻 1 個 |
5. 適用范圍
- 光伏行業(yè)：單 / 多晶硅片、選擇性發(fā)射極擴散片、表面鈍化片、太陽能電池導電層檢測
- 半導體行業(yè)：硅晶圓、非晶硅、微晶硅襯底、PN 結交叉指電極、電鍍銅電極測量
- 顯示行業(yè)：LCD、OLED、觸摸屏 ITO/FTO 透明導電薄膜電阻率檢測
- 新材料實驗室：鐵電材料、納米導電涂層、薄層導體科研試驗
- 合作檢測機構：依據 ASTM 標準開展薄層、半導體襯底第三方電性能檢測
6. 操作流程（簡潔）
- 接通 220V 穩(wěn)定電源，通訊線路連接儀器與電腦，安裝配套分析軟件；
- 匹配試樣尺寸安裝對應晶圓樣品臺，放置無劃痕平整試樣；
- 在軟件設置探針間距、測試壓力、電流檔位、掃描點位數量；
- 選擇單點 / 多點掃描模式，啟動測量，步進機構自動完成探針升降采集；
- 測試完成后軟件自動統計全部數據，導出 Excel 格式報表與均勻性數據；
- 抬升探針，取出試樣，關閉設備與軟件。
7. 綜合服務項目（簡潔版）
- 樣品測試服務：薄膜、晶圓試樣預檢測，輸出完整多點掃描數據記錄
- 延保服務：可選 1~3 年延保周期，延長設備維保周期
- 計量檢測服務：配套計量證書，滿足實驗室資質審核要求
- 儀器定制服務：非標探針間距、超大尺寸樣品臺按需調整
- 技術升級服務：軟件算法、硬件步進模組功能迭代優(yōu)化
8. 包裝配件（表格）
（1）出廠標準配件
| 品名 | 型號 | 單位 | 數量 |
|---|---|---|---|
| FT-3120B 主機 | FT-3120B | 臺 | 1 |
| 測試線 | 3310-CSX | 套 | 1 |
| 直線型四探針探頭 | 3310-06B | 個 | 1 |
| 標準校準電阻 | 09A | 個 | 1 |
| 設備說明書、合格證 | 配套資料 | 套 | 1 |
（2）可選增購配件
| 序號 | 型號 | 品名 | 單位 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 340-TTZ | 鍍金彈簧銅針組 | 組 | 4 根 / 組，替換耗材 |
| 2 | 340-WTZ | 彈簧鎢針組 | 組 | 耐磨高硬度探針 |
| 3 | 3310-YPT-2 | 多尺寸晶圓樣品臺 | 套 | 2/4/6/12 寸可選 |
| 4 | 3310-RJ | PC 分析軟件 | 套 | 多點掃描報表功能 |
| 5 | PC | 電腦 + 打印機 | 套 | 按工況搭配 |
| 6 | 3310-JL | 計量技術服務 | 份 | 附帶計量證書 |
| 7 | 3120B-YB | 延保服務 | 年 | 1~3 年可選 |
9. 售后服務（簡潔）
- 原廠基礎質保周期內，非人為硬件故障提供維修、配件更換支持；
- 軟件參數調試、操作問題提供線上遠程技術指導；
- 設備故障無法線上處置時，安排到場檢修服務；
- 定期推送探針保養(yǎng)、設備校準操作指引文檔；
- 長期供應原廠探針、測試線等替換耗材。
10. FAQ 常見問題
Q1：FT-3120B 能否測試超薄柔性導電薄膜？
A：可以，可下調探針壓力至低檔位，搭配軟質載片支撐，避免薄膜破損，支持 ITO、銀納米線柔性膜檢測。
Q2：設備支持 12 寸整片晶圓全自動連續(xù)掃描嗎？
A：半自動機型需人工更換晶圓，搭配對應 12 寸樣品臺可完成整片多點點位采集；全自動機型可參考 FT-3110 系列。
Q3：導出的數據能否直接用于實驗室臺賬歸檔？
A：配套軟件支持報表、原始點位數據導出，文檔適配辦公軟件，可直接打印存檔。
Q4：設備校準周期建議多久？
A：實驗室研發(fā)場景建議 6 個月校準；產線批量質檢建議 3 個月校準，可同步選購計量服務出具證書。
Q5：環(huán)境粉塵過多會影響測量嗎？
A：探針與樣品表面積灰接觸電阻大，建議測試前清潔樣品與探針，放置潔凈工作臺使用。
11. 關聯產品（簡潔）
- FT-3110 全自動四探針測試儀：全自動多點位晶圓掃描，適配大批量產線
- FT-371 高阻雙電四探針儀：絕緣薄膜、高阻半導體薄層檢測
- FT-361 低阻四探針測試儀：金屬鍍層、低阻導電材料測量
- FT-542SJB 雙極板電阻測試儀：液流電池炭氈壓縮電阻檢測
- FT-300 導體粉末電阻率儀：導電粉體、負極材料電性能測試
